课程介绍
课程安排
學習各種積體電路的製程,以作為日後進入ic產業儲存基本能力.
-
半導體工業簡介
-
半導體材料特性
-
元件技術
-
矽與晶圓準備
-
半導體製造之化學特性
-
半導體製造廠之污染控制
-
量測與缺陷
-
製程反應室之氣體控制
-
IC製造概述
-
氧化
-
沉積
-
金屬化
-
微影:氣相塗底至軟烤
-
微影:對準與曝光
-
微影:光阻顯影與先進雕像
-
蝕刻
-
離子植入
-
化學機械平坦化
-
晶圓測試
-
裝配與封裝
教师 / 甘廣宙(離職)
教师 / 電子系辦公室電子系
教师 / 工學院