课程介绍
课程安排
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第一章 真空技術與氣體傳輸安全
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第二章 電漿物理
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第三章 表面動力學與薄膜生長機制
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第四章 薄膜製作技術
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第五章 磊晶生長與光學薄膜
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第六章 表面、界面與元件電性
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第七章 散射與薄膜結構或成分分析
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第八章 薄膜特性檢測技術與原理
教师 / 廖培凱
教师 / 工學院
教师 / 工程學院機械系