課程介紹
課程安排
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第1章 導論
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第2章 積體電路生產的簡介
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第3章 半導體基礎原理、元件與製程
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第4章 晶圓製造和磊晶成長
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第5章 加熱製程
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第6章 微影技術
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第7章 電漿的基礎原理
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第8章 離子佈植
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第9章 蝕刻
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第10章 化學氣相沉積與介電質薄膜
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第11章 金屬化製程
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第12章 化學機械研磨
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顯示科技回顧與前瞻
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太陽能電池之介紹
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太陽光電與應用於太陽能電池之低溫多晶矽薄膜研究
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晶圓加工
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積體電路製程加工
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電子束加工
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微影製程加工
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微影照相用材料
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半導體製程之微影製程加工
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離子束加工
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IC製造流程-離子植入
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LCD 製程
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LCM製造
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彩色濾光片(CF)加工
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Driver IC 製造介紹
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背光模組光學最佳設計分析
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AFM氧化加工
教師 / 朱孝業
教師 / 工學院
教師 / 工程學院機械系