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10001光電半導體製程_四光電三A
上课期间:从 即日起 到 无限期
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课程介绍

课程安排

  • 分組報告表
  • Chap 1 導論
  • Chap 2 製程簡介
  • Chap 3 半導體基礎
  • Chap 4 晶圓製造
  • Chap 5 加熱製程
  • Chap 6 微影技術
  • Chap 7 電漿原理
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教师 / 工學院
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