Course Intro
Course Plan
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Textbooks
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半導體工業簡介
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半導體材料特性
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元件技術
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矽與晶圓準備
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半導體製造之化學特性
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半導體製造廠之污染控制
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量測與缺陷
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製程反應室之氣體控制
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IC製造概述
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氧化
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沉積
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金屬化
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微影:氣相塗底至軟烤
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微影:對準與曝光
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微影:光阻顯影與先進雕像
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蝕刻
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離子植入
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化學機械平坦化
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晶圓測試
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裝配與封裝
Teacher / 電子系辦公室電子系
Teacher / 工學院
Teacher / 甘廣宙(離職)